大手半導体製造装置メーカーは、 Roxtec のケーブル貫通部密閉ソリューションを使っています。 設備の安全稼働と長期にわたる運用信頼性を確保できることが大きな理由です。 面積効率に優れた密閉シールは、防爆環境で使用できるよう Ex e 認証を受けています。終端処理済みのケーブルにも最適で、密集配線もしっかり密閉できます。
それに加えて、ガスや振動を含む複合的なリスク要因からも保護し、ケーブル把持力にも優れているのが特長です。 このような特長から Roxtec は、次のようなアプリケーションで標準的なソリューションとなっています。
- CMP 装置
- スクラバー
- ガス供給システム
- 熱処理装置
- CVD 装置
- 洗浄装置
- 各種電気制御盤
